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基板・フィルム塗工乾燥装置

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OLED
フレキシブルOLED、フレキシブルLCD
LCD
車載ディスプレイ
μLED、mini LED
ICパッケージング(FOWLP、FOPLP、WLCSP等)
半導体
有機半導体
燃料電池・全個体電池
MEMS
有機太陽電池、PSC
カバーパネル
機能性フィルム

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パターンニング用フォトレジストの塗布
絶縁層・層間絶縁層の塗布
カラーフィルターの塗布
オーバーコート、ハードコートの塗布
有機半導体層の塗布
光学膜の塗布(AR膜 ・LR膜 ・AG膜)
透明導電膜の塗布(CNT、銀ナノファイバー、Pedot 他)
ポリイミドの塗布
電極材の塗布
バリア層の塗布
光学接着剤(OCR)の塗布
ガラスペースト、金属ペーストの塗布
その他高粘度塗布液の塗工
その他低粘度塗布液の塗工
異形状の塗布
ポリイミドのキュア
TFTのアニール、脱水素、活性化
ガラスの焼成

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