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基板・フィルム塗工乾燥装置

精密塗工・乾燥装置

HPコータ


テーブルコータ®シリーズのスタンダードモデル!薄塗りだけでなく、Wet100μmを超える厚膜塗工も可能で、スクリーン印刷・スピンコータ等で重ね塗りしていた厚膜も一度で塗布できます。また、ガラスや樹脂のシート基板だけでなく、PET等のフィルム基材にも対応可能です!高粘度型と低粘度型があります。
当社研究所のクリーンルーム内(Class100)に、塗工性能確認のためのテスト装置を設置しています。

主な用途

  • ●フレキシブルディスプレー用PI膜
    ●層間絶縁膜(PI)
    ●パターニング用フォトレジスト
    ●ソルダーレジスト
    ●オーバーコート
    ●ハードコート
    ●隔壁・誘電体
    ●OCR
    ●電極材塗布
    ●CNT など

装置仕様

  • ●最大基板寸法:2,600mmW×5,000mmL
    ●塗工膜厚:Wet10μm以上(Dry 1μm〜1,000μm)
    ●塗工液粘度:0.001〜100Pa・s(1〜100,000cps)
    ●塗工速度:≦200mm/sec
    ●膜厚精度:≦±3%
    ●クリーン度:class10

研究・開発用の小型機(A4 サイズ基板)もあります。

受託テストはこちらから

 

テーブルコータ®とは

1996年の発売以来、累計販売台数400台を誇る主力商品!ダイコータを用いて、ガラス・フィルム・紙等シート基材にノンタッチで高精度に塗工します。ダイコータによる閉回路塗工のため、溶剤の蒸発等塗工液の変化が少なく、塗工液のロスを最小限に抑えます。テーブルコータ®には、幅広い塗布範囲に対応できるHPコータと、主に低粘度薄塗りの塗工性能をさらに追及したFLOLIAの2種類があります。
基板洗浄装置・ロボット・真空乾燥装置・ホットプレート・オーブン等と組み合わせたシステムにも対応しています!

特長・仕様

  1. スピンコータに匹敵する高精度塗工を実現
  2. 大型サイズのプレートまたはシートの塗工も可能(MAX.2600mm幅)
  3. 低粘度から高粘度まで幅広い粘度範囲に対応可能(0.001~10Pa・s)
  4. 薄膜から厚膜まで幅広い膜厚範囲に対応可能(0.05~1,000μm/Dry)
  5. 塗工液のロスを極限まで抑えた省コスト設計
  6. 塗閉回路塗工のため、塗工液の特性変化が無い
  7. 塗工精度:≦±3%

テーブルコータ®のイメージ図

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