基板・フィルム塗工乾燥装置

関連受託テスト

FLOLIA®コータシステム

装置仕様

• ●最大基板寸法：400mmW×500mmL
  ●塗工膜厚：WET 1μm以上（Dry 100nm〜1,000μm）
  ●塗工液粘度：0.001～100Pa・s（1～100,000cps）
  ●塗工速度：≦200mm/sec
  ●設置環境：class10

システムプロセス

• ●塗工前基板洗浄装置：E-UV、WET洗浄
  ●コータ：SLIT COATER
  ●減圧乾燥装置：HOT対応可能
  ●ホットプレート
  ●クリーンオーブン：N2雰囲気対応、Max.500℃
  ●膜欠陥検査装置
  ●OFF-LINE膜厚測定装置：光学式

FLOLIA®3000コータシステム

装置仕様

• ●最大基板寸法：1,850mmW×1,500mmL
  ●塗工膜厚：WET 1μm以上（Dry 100nm〜1,000μm）
  ●塗工液粘度：0.001～100Pa・s（1～100,000cps）
  ●塗工速度：≦200mm/sec

システムプロセス

• ●コータ：SLIT COATER
  ●減圧乾燥装置：HOT対応可能
  ●ホットプレート
  ●膜厚測定：コータ附帯機能

RSコータ

装置仕様

• ●最大基板寸法：4〜18inch（φ450mm）
  ●塗工膜厚：WET 50〜200μm以上
  ●塗工液粘度：500～15,000Pa・s（cps）

システムプロセス

• ●コータ：SLIT COATER

クリーンオーブン

装置仕様

• ●最大基板寸法：G2.5〜G6
  ●加熱方式：対流型（熱風循環方式）
  ●最高温度：Max.550℃
  ●炉内O₂濃度：≦10ppm（PN₂使用時）
  ●クリーン度：Class10

システムプロセス

• ●オーブン
  ●膜欠陥検査装置

受託テストのお申し込み・お問い合わせ

• テストは基本的に有償です。（テスト詳細が確定後、お見積書を提出いたします。）
• テストを希望される方は、下記の「受託テストのお申し込み」ボタンをクリックし、「テストお申し込み専用フォーム」に必要事項を入力のうえ、送信してください。
• ご依頼内容によっては、お断りする場合もあります。
• テスト装置の使用状況により、長期間お待ちいただかなければならない場合があります。

※ 中外炉工業では、設備導入のご商談を頂いているお客様のためのテスト装置を準備しています。賃加工や単独テストなどはお引き受けしておりませんので、ご了承願います。

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