お問い合わせフォームへ

基板・フィルム塗工乾燥装置

精密塗工・乾燥装置

RSコータ™

Spin Coaterに代わる画期的な製品新登場︕
独自スリットダイで自由に円形塗布!


特 長

  • 高粘度液の厚膜塗布が可能(膜厚100μmでも重ね塗り不要)
  • パターンへの埋め込み性に優れる
  • EBR(Edge Back Rinse)不要で工程数を削減
  • 全量塗布方式により圧倒的な省液性を実現(塗布液利用効率はSpin Coaterの約3倍)
  • 洗浄液の使用量及び廃液量も大幅に削減でき、よりエコな生産が可能に
  • バブルレスで優れた品質を実現

 

さまざまな塗布形状、異形基材への塗布が可能


(図をクリックで拡大表示)

以下のような形状の塗布も可能です!

優れた膜厚精度(Uniformity)


(図をクリックで拡大表示)

 

仕 様

  1. ウエハサイズ:4~18inch(φ450mm)
  2. 粘度:500~15,000mPa・s(cps)
  3. 塗布膜厚:50~200μm/Wet
  4. 膜厚精度:±3%以内
  5. 塗液使用効率:90%以上
コーティングには新開発の特殊スリットダイを採用
フチなし塗布、長方形基板への円形塗布も自由自在!

 

システム対応

システムでのご提案も承っております。

プロセスフロー例:
ロードポート(EFEM) → アライメント →コータ → BAKE → CP → ロードポート(EFEM)
乾燥プロセス Option:VCD(真空乾燥装置)
焼成プロセス Option:Cure Oven等との組合せも可能

 

お問い合わせはこちら

TOP