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基板・フィルム塗工乾燥装置

精密塗工・乾燥装置

RSコータ™

Spiral Coaterに代わる新商品登場。
独自スリットダイで自由に円形塗布!


■特長

  • 全量塗布方式により液ロスを極限まで低減
  • バブルレスで優れた品質を実現
  • 厚膜塗布にも対応(膜厚100μmでも重ね塗り不要)
  • 高粘度塗布液にも対応
  • 楕円/瓢箪型といった異形状の塗布、Stripe塗布が可能
  • 円形や四角形以外にも台形や八角形等の異形基板にもコーティング可能
コーティングには新開発の特殊スリットダイを採用
フチなし塗布、長方形基板への円形塗布も自由自在!

 

■仕様

  1. ウエハサイズ:4~18inch(φ450mm)
  2. 粘度:500~15,000mPa・s(cps)
  3. 塗布膜厚:50~200μm/Wet
  4. 膜厚精度:±3%以内
  5. 塗液使用効率:90%以上

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