精密塗工・乾燥装置
RSコータ™
Spin Coaterに代わる画期的な製品新登場︕
独自スリットダイで自由に円形塗布！
特 長
- 高粘度液の厚膜塗布が可能（膜厚100μmでも重ね塗り不要）
- パターンへの埋め込み性に優れる
- EBR（Edge Back Rinse）不要で工程数を削減
- 全量塗布方式により圧倒的な省液性を実現（塗布液利用効率はSpin Coaterの約3倍）
- 洗浄液の使用量及び廃液量も大幅に削減でき、よりエコな生産が可能に
- バブルレスで優れた品質を実現
さまざまな塗布形状、異形基材への塗布が可能
（図をクリックで拡大表示）
優れた膜厚精度（Uniformity）
（図をクリックで拡大表示）
仕 様
- ウエハサイズ：4～18inch（φ450mm）
- 粘度：500～15,000mPa・s（cps）
- 塗布膜厚：50～200μm/Wet
- 膜厚精度：±3％以内
- 塗液使用効率：90％以上
コーティングには新開発の特殊スリットダイを採用
フチなし塗布、長方形基板への円形塗布も自由自在！
システム対応
システムでのご提案も承っております。
プロセスフロー例：
ロードポート（EFEM） → アライメント →コータ → BAKE → CP → ロードポート（EFEM)
乾燥プロセス Option：VCD（真空乾燥装置）
焼成プロセス Option：Cure Oven等との組合せも可能
