精密塗工・乾燥装置
RSコータ™
Spiral Coaterに代わる新商品登場。
独自スリットダイで自由に円形塗布!
■特長
- 全量塗布方式により液ロスを極限まで低減
- バブルレスで優れた品質を実現
- 厚膜塗布にも対応(膜厚100μmでも重ね塗り不要)
- 高粘度塗布液にも対応
- 楕円/瓢箪型といった異形状の塗布、Stripe塗布が可能
- 円形や四角形以外にも台形や八角形等の異形基板にもコーティング可能
コーティングには新開発の特殊スリットダイを採用
フチなし塗布、長方形基板への円形塗布も自由自在!
■仕様
- ウエハサイズ:4~18inch(φ450mm)
- 粘度:500~15,000mPa・s(cps)
- 塗布膜厚:50~200μm/Wet
- 膜厚精度:±3%以内
- 塗液使用効率:90%以上