精密塗工・乾燥装置
円形塗布装置 RSコータ™
Spiral Coaterに代わる新商品登場。
独自スリットダイで自由に円形塗布！
■特長
- 全量塗布方式により液ロスを極限まで低減
- バブルレスで優れた品質を実現
- 厚膜塗布にも対応（膜厚100μｍでも重ね塗り不要）
- 高粘度塗布液にも対応
- 楕円／瓢箪型といった異形状の塗布、Stripe塗布が可能
- 円形や四角形以外にも台形や八角形等の異形基板にもコーティング可能
コーティングには新開発の特殊スリットダイを採用
フチなし塗布、長方形基板への円形塗布も自由自在！
■仕様
- ウエハサイズ：4～18inch（φ450mm）
- 粘度：500～15,000mPa・s（cps）
- 塗布膜厚：50～200μm/Wet
- 膜厚精度：±3％以内
- 塗液使用効率：90％以上
