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基板・フィルム塗工乾燥装置

精密塗工・乾燥装置

RSコータ™

Spin Coaterに代わる画期的な製品新登場︕
独自スリットダイで自由に円形塗布。様々な異形状にも対応します!

 

特 長

  • 高粘度液の厚膜塗布が可能(数100μmの厚塗りも1回で塗布可能)
  • パターンへの埋め込み性に優れる(ボイドも少ない)
  • EBR(Edge Back Rinse)不要で工程数を削減
  • 圧倒的な省液性を実現(塗布液使用量はスピンコータの1/3以下)
  • 洗浄液の使用量及び廃液量も大幅に削減でき、よりエコな生産が可能に
  • 異形材料への塗布、異形状の塗布が可能(以下形状例参照)


以下のような形状の塗布も可能です!

優れた膜厚精度(Uniformity)


(図をクリックで拡大表示)

低粘度領域も塗工可能に!


(図をクリックで拡大表示)


(図をクリックで拡大表示)

 

仕 様

  1. ウエハサイズ:4~12inch(φ300mm)
  2. 粘度:20~15,000mPa・s(cps)
  3. 塗布膜厚:~600μm/Wet
  4. 膜厚精度:±3〜5%以下
  5. 塗液使用効率:90%以上

※塗工条件によって対応粘度は相談可能です。

製品紹介ビデオ

 

動作説明ビデオ

 

システム対応

システムでのご提案も承っております。

プロセスフロー例:
ロードポート(EFEM) → アライメント →コータ → BAKE → CP → ロードポート(EFEM)
乾燥プロセス Option:VCD(真空乾燥装置)
焼成プロセス Option:Cure Oven等との組合せも可能


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