精密塗工・乾燥装置
高粘度コータシステム（PI）
ガラスや樹脂製の基板にペーストなど比較的高粘度な液を塗工し、乾燥・焼成するシステムです。長年の高粘度塗布の経験と実績を活かし、フレキシブルOLEDに使用するポリイミド塗布においては、業界最薄膜（5.8um）の高粘度薄膜量産実績あり。
主な用途
フレキシブルディスプレー用PI膜、FOPLP、OCR etc
装置仕様
※代表的なフレキシブルディスプレー用PI膜の装置構成及び仕様
- Coater
塗工サイズ：G1〜G9 各種（コータ単体ではMax. 2,600mm幅）
塗工速度：≦100mm/sec
塗工粘度：1,000〜100,000cps - Wet洗浄
代表例：①IN C/V → ②Dry洗浄（E-UV or AP Plasma）→ ③ロールブラシ → ④2流体 → ⑤HPMJ → ⑥Final Rinse → ⑦Air knife → ⑧OUT C/V - Dehydration Bake unit（HP/CP）
HP使用温度：50〜150°C
CP使用温度：23°C - 加熱式減圧乾燥装置（H-VCD）
使用温度域：30〜150°C
