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基板・フィルム塗工乾燥装置

精密塗工・乾燥装置

テーブルコータ FLOLIA®


HPコータより更なる薄膜塗工が可能。ガラス、その他シート基板へのより薄く、より正確なコーティングを実現しました。
画期的なノズル洗浄と独自の制御方式により、サブミクロン単位の高精度な薄膜塗工が可能です。
また、基板搬送機構と位置決め機構により、自動化にも対応できます。
当社研究所のクリーンルーム内（Class100）に、塗工性能確認のためのテスト装置を設置しています。

主な用途

  • ●フォトレジスト
    ●カラーフィルター
    ●オーバーコート
    ●ハードコート
    ●有機半導体層
    ●太陽電池関連
    ●AR、LR、AG膜
    ●CNT、Pedot等 透明導電膜
    ●バリア膜 など

装置仕様

  • ●最大基板寸法：2,600mmW×5,000mmL
    ●塗工膜厚：Wet 1μm以上（Dry 0.05μm〜50μm）
    ●塗工液粘度：0.001〜50Pa・s（1〜50,000cps）
    ●塗工速度：≦300mm/sec
    ●膜厚精度：≦±3%
    ●クリーン度：class10

液晶のオープンセル等極薄の基板に対応した基板浮上搬送方式のコータもあります。
G6 Pedotコータ（フローティング搬送方式）

→受託テストはこちらから

 

テーブルコータ®とは

1996年の発売以来、累計販売台数400台を誇る主力商品！ダイコータを用いて、ガラス・フィルム・紙等シート基材にノンタッチで高精度に塗工します。ダイコータによる閉回路塗工のため、溶剤の蒸発等塗工液の変化が少なく、塗工液のロスを最小限に抑えます。テーブルコータ®には、幅広い塗布範囲に対応できるHPコータと、主に低粘度薄塗りの塗工性能をさらに追及したFLOLIAの2種類があります。
基板洗浄装置・ロボット・真空乾燥装置・ホットプレート・オーブン等と組み合わせたシステムにも対応しています！

特長・仕様

  1. スピンコータに匹敵する高精度塗工を実現
  2. 大型サイズのプレートまたはシートの塗工も可能（MAX.2600mm幅）
  3. 低粘度から高粘度まで幅広い粘度範囲に対応可能（0.001～10Pa・s）
  4. 薄膜から厚膜まで幅広い膜厚範囲に対応可能（0.05～1,000μm/Dry）
  5. 塗工液のロスを極限まで抑えた省コスト設計
  6. 塗閉回路塗工のため、塗工液の特性変化が無い
  7. 塗工精度：≦±3%

テーブルコータ®のイメージ図

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