お問い合わせフォームへ

高機能材処理設備

サステナブルな社会の実現に向けた装置選び、出来ていますか?
新商品のRSコータでは、高粘度の塗工液の厚膜塗布が可能という特長に加え、従来主流のスピンコータに比べて圧倒的な塗工液使用量の削減が可能という点にこれまで注目頂いていますが、最近では単に材料費の節約というコストメリットだけでなく、塗工液のロス(廃棄量)や洗浄用溶剤の使用量(廃液排出量)削減という、地球環境保護や温暖化防止に貢献できる点から注目頂くケースも増えてきています。
一般的にウエハーの塗工に使われているスピンコータは塗工液を飛散させながら塗布するので、大量の塗工液を使用するうえ、飛散した塗工液は廃液として排出されます。
また、そもそも塗工液を製造するには多くの材料やエネルギーが必要となりますし、その廃液をリサイクルや産廃処理するにもエネルギーを要します。これは洗浄液(溶剤)についても同じと言えます。
従ってこれらのロスが削減できるRSコータを導入することは、サステナブルな社会の実現に向けたお客様のESGやSDGsといった活動の推進にもつながると考えられます。
あらゆるプロセスで環境への配慮が求められる昨今、導入検討用以外の、環境対策用としてもぜひ一度ご相談ください。
TOP