メタルエレメント炉

高真空およびコンタミネーションを抑えたクリーンな処理を実現

装置概要

炉内構成材にセラミックファイバーを使わず金属部品を用いることで、高真空およびコンタミネーションを抑えたクリーンな処理を実現しました。
ヒータ、リフレクタの材料は使用温度に合わせてモリブデン、タングステンなどにすることで、低温から2,300℃の高温域まで処理が可能です。
炉内圧力は10^-5 Pa absの高真空から0.99MPa G.の高圧まで幅広い範囲に対応し、雰囲気は真空、N₂、Arなどの不活性ガス、H₂などの可燃性ガスの他、加湿雰囲気にも対応します。
研究用の小型炉から量産用の大型炉まで、幅広いサイズ、処理条件にお応えいたします。

主な用途

高温・高圧焼成
電池材料の熱処理

装置仕様

炉内有効寸法	Φ400^D×1,200^Hmm
最高使用温度	2,300℃

各部の名称

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