枚葉式ダイコータ（矩形専用塗工機）

1996年の発売以来、累計販売台数400台を誇る主力商品！

製品概要

ダイコータを用いて、ガラス・フィルム・紙等シート基材に高精度に塗工します。ダイコータによる閉回路塗工のため、溶剤の蒸発等塗工液の変化が少なく、塗工液のロスを最小限に抑えます。低粘度～高粘度まで幅広い塗布範囲に対応可能です。また、基板洗浄装置・ロボット・真空乾燥装置・ホットプレート・オーブン等と組み合わせたシステムにも対応しています！

主な用途

フレキシブルディスプレー用PI膜
層間絶縁膜（PI）
パターニング用フォトレジスト
ソルダーレジスト
オーバーコート
ハードコート
隔壁・誘電体
OCR
電極材塗布
CNT など

装置仕様

最大基板寸法	2,600mmW×5,000mmL
塗工膜厚	Wet10μm以上（Dry 1μm〜1,000μm）
塗工液粘度	0.001〜100Pa・s（1〜100,000cps）
塗工速度	≦200mm/sec
膜厚精度	≦±3%
クリーン度	class10

研究・開発用の小型機（A4 サイズ基板）もあります。

テーブルコータ^®
とは

特長・仕様

スピンコータに匹敵する高精度塗工を実現
大型サイズのプレートまたはシートの塗工も可能（MAX.2600mm幅）
低粘度から高粘度まで幅広い粘度範囲に対応可能（0.001～10Pa・s）
薄膜から厚膜まで幅広い膜厚範囲に対応可能（0.05～1,000μm/Dry）
塗工液のロスを極限まで抑えた省コスト設計
塗閉回路塗工のため、塗工液の特性変化が無い
塗工精度：≦±3%

イメージ図

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