Heat Treatment Furnaces for Parts & Materials
部品・素材熱処理炉
真空炉、高温炉・ホットプレス、真空浸炭、機能材熱処理
クリーンオーブン バッチ型（パッケージング用）
クリーンオーブン バッチ型（パッケージング用）
半導体・電子部品用のクリーンオーブンです！
| 製品概要 | 半導体・電子部品用のクリーンオーブンです！ 独自の特殊耐熱フィルター（新開発）を採用し、IRオーブン同等のクリーン度（Class10）を実現します。 熱風循環型のため、優れた省エネ性と高い生産性を発揮。結露・昇華物の付着が無く、メンテも簡単！ EFEMとの組み合わせたシステム化にも対応しています。 |
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| 主な用途 | FOPLP（RDL）のPI Cure等 | ||||||||||||||||
| 装置仕様 |
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