クリーンオーブンバッチ式（ディスプレー用）

独自の特殊耐熱フィルター（新開発）を採用したクリーンオーブンです！

製品概要

独自の特殊耐熱フィルター（新開発）を採用したクリーンオーブンです。
HEPAフィルターを使わないため、IRオーブン同等のクリーン度（Class10）を実現します。
加熱・昇温能力と温度均一性も従来の熱風オーブンに比べて大幅に向上しています。
熱風循環型のため、IRオーブンに比べN₂・電力の使用量が半分で済み、優れた省エネ性を発揮します。また、炉体全体が加熱されるため、炉壁への結露・昇華物の付着が無く、定期清掃による稼働率の低下が発生しません。

主な用途

PIのCure（Flexible OLED 他）、TFTのAnneal・活性化、脱水素処理他、Frit seal（OLED）、ガラスの焼成等

装置仕様

基材寸法	G2.5〜G8.5
加熱方式	対流型（熱風循環方式）
最高温度	Max.550°C
温度精度	ΔT= ≦9°C
温度昇温/降温レート	Up rate = 7°C/min Down rate = -7°C/min（Ave.）
クリーンレベル	Class10
雰囲気	Air　ｏｒ　N₂ gas（Pure N₂）
炉内O₂濃度	≦10ppm（Pure N₂使用時）

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