精密塗工
枚葉式RSコータ™
ダイヘッドに独自の幅替機構を搭載！基板形状問わず様々な形状の塗布に対応します。
特 長
- 独自の幅替え機構で様々な塗布形状を実現
- パターン塗布で材料ロスを極限まで低減
- 独自の幅替え機構により塗布のレスポンス速度も向上
- 塗布始終端での高い吐出安定性
- シャープなコーナーエッジの実現
(幅替え機構にてあえてR部を作ることも可) - 始終端でのわずらわしい補正レシピ不要
- 高粘度塗布液・厚膜塗布にも対応
(膜厚数百μmでも重ね塗り不要)
以下のような形状の塗布も可能です！
優れた膜厚精度（Uniformity）
（図をクリックで拡大表示）
低粘度領域も塗工可能に！
（図をクリックで拡大表示）
（図をクリックで拡大表示）
多様な塗布を全てカバー！
| RSコータ | スリット コータ |
インク ジェット |
ディス ペンサー |
スクリーン 印刷 |
|
|---|---|---|---|---|---|
| 異形塗布 | ● | ● | ● | ● | |
| 高粘度塗布 | ● | ● | ● | ● | |
| 連続塗布 | ● | ● | ● | ● | |
| 厚膜塗布 | ● | ● | ● | ||
| 高速塗布 | ● | ● |
※比較表：塗布別 / 製品別
仕 様
- 塗布幅 Max 300mm
- 粘度：数mPa・s（cps）〜50,000mPa・s（cps）
- 塗布膜厚：～1,000μm/Wet
- 膜厚精度：±3〜5％以下
- 塗液使用効率：90％以上
※塗布条件によって対応粘度は相談可能です。
※低露点雰囲気下での塗工にも対応。
製品紹介ビデオ
動作説明ビデオ
ホイールコータ間欠ビデオ
ホイールコータ塗布ビデオ
システム対応
システムでのご提案も承っております。
プロセスフロー例：
ロードポート（EFEM） → アライメント →コータ → BAKE → CP → ロードポート（EFEM）
乾燥プロセス Option：VCD（真空乾燥装置）
焼成プロセス Option：Cure Oven等との組合せも可能
