熱処理装置
クリーンオーブン 連続型(Fritオーブン)
大量生産向けのオーブンです。連続式なので急速昇温が可能、生産性の高さとランニングコストの低さが特徴です。独自のマッフル構造を採用し、低炉内O2濃度とクリーン度を実現!
主な用途
Frit Sealの焼成(OLED)、PIのCure、その他ガラスの焼成等
装置仕様
加熱方式:輻射型
熱源 :電気ヒータ
最高温度:Max.600°C
温度精度:ΔT= ≦10°C
クリーンレベル:Class100
雰囲気 :Air or N2gas(Pure N2)
炉内O2濃度:≦50ppm(Pure N2使用時)