精密塗工
枚葉式ダイコータ
テーブルコータ®シリーズのスタンダードモデル！薄塗りだけでなく、Wet100μmを超える厚膜塗工も可能で、スクリーン印刷・スピンコータ等で重ね塗りしていた厚膜も一度で塗布できます。また、ガラスや樹脂のシート基板だけでなく、PET等のフィルム基材にも対応可能です！高粘度型と低粘度型があります。
当社研究所のクリーンルーム内（Class100）に、塗工性能確認のためのテスト装置を設置しています。
主な用途
- ●フレキシブルディスプレー用PI膜
●層間絶縁膜（PI）
●パターニング用フォトレジスト
●ソルダーレジスト
●オーバーコート
●ハードコート
●隔壁・誘電体
●OCR
●電極材塗布
●CNT など
装置仕様
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●最大基板寸法：2,600mmW×5,000mmL
●塗工膜厚：Wet10μm以上（Dry 1μm〜1,000μm）
●塗工液粘度：0.001〜100Pa・s（1〜100,000cps）
●塗工速度：≦200mm/sec
●膜厚精度：≦±3%
●クリーン度：class10
研究・開発用の小型機（A4 サイズ基板）もあります。
テーブルコータ®とは
1996年の発売以来、累計販売台数400台を誇る主力商品！ダイコータを用いて、ガラス・フィルム・紙等シート基材にノンタッチで高精度に塗工します。ダイコータによる閉回路塗工のため、溶剤の蒸発等塗工液の変化が少なく、塗工液のロスを最小限に抑えます。テーブルコータ®には、幅広い塗布範囲に対応できるHPコータと、主に低粘度薄塗りの塗工性能をさらに追及したFLOLIAの2種類があります。
基板洗浄装置・ロボット・真空乾燥装置・ホットプレート・オーブン等と組み合わせたシステムにも対応しています！
特長・仕様
- スピンコータに匹敵する高精度塗工を実現
- 大型サイズのプレートまたはシートの塗工も可能（MAX.2600mm幅）
- 低粘度から高粘度まで幅広い粘度範囲に対応可能（0.001～10Pa・s）
- 薄膜から厚膜まで幅広い膜厚範囲に対応可能（0.05～1,000μm/Dry）
- 塗工液のロスを極限まで抑えた省コスト設計
- 塗閉回路塗工のため、塗工液の特性変化が無い
- 塗工精度：≦±3%
テーブルコータ®のイメージ図
