清洁烤箱 批次类型(用于包装)

清洁烤箱 批次类型(用于包装)

半导体和电子元件的清洁炉!

产品概览 半导体和电子元件的清洁炉!
采用独特的特殊耐热过滤器(新开发的),清洁度(10 级)与红外线烤箱相当。
热风循环带来出色的能效和高生产率。无冷凝或升华现象,易于维护!
它还可以与 EFEM 结合使用。
主要应用: FOPLP (RDL) PI Cure 等。
设备规格
面板尺寸 500 毫米 x 500 毫米,600 毫米 x 600 毫米
加热方法 对流型(热风循环系统)
最高温度 最高 350°C。
温度精度 ΔT= ≤ 3°C
温度上升/下降率 上升速率 = 7°C/min 下降速率 = -7°C/min (平均值)
清洁度 第十班
气氛 空气或 N₂ 气体(纯 N₂)
炉内 O₂ 浓度 ≤ 10 ppm(使用纯净 N₂时)

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