基板・フィルム塗工乾燥装置

FPD用熱処理設備

チップ管レス真空排気封入封着装置


パネルへのチップ管取り付け、封じ切りプロセスが不要で、大幅なタクトタイム短縮と省エネルギーを実現する「排気・封入・封着」プロセスを1炉で連続処理する画期的なチップ管レス真空排気封入封着装置です。
なお、開発済みのバッチ式装置をベースとし、次世代向けの連続式チップ管レス真空排気封入封着装置を現在開発中です。

■特長

  1. パネルのチップ管取り付け、封じ切りプロセスが不要
  2. 排気・封入・封着を1炉で連続処理
  3. タクトタイム(特に排気時間)を大幅に短縮

中外炉工業では、チップ管レスに対する多様なニーズに応えるため、開発用から本格量産用まで、最適なシステムを提供しています。
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