FPD用熱処理設備
カート式封着排気装置
ディスプレーパネル等基板製造の最終プロセスとして重要な位置を占める「封着・排気・ガス封入・チップ管封じ切り」のプロセスを連続で一貫処理する量産設備として開発されたカート式封着排気装置です。
なお、パネルハンドリングロボットからチップ管セット、チップ管自動封止までの全プロセスの自動化を実現した中外炉のカート式連続封着排気装置は、世界に先駆け全自動フル生産稼働中です｡
■特長
1.ショックレスカート搬送
独自の駆動機構により、スムースな起動・停止と連続微速搬送を実現
2.炉内均一加熱
排気カートの断熱を図りながら、パネルのみを炉内で直線搬送できるため、パネル全体の均一加熱を実現
3.ランニングコストの大幅削減（省エネルギー）
電気・ガスを併用するハイブリット加熱方式の採用により、全電気加熱方式に比べ、エネルギーコストを２分の１に低減
4.全プロセスの自動化
パネルハンドリングロボットからチップ管セット、チップ管自動封止までの全プロセスの自動化を実現
■選択いただけるバリエーション
(1) バッチ式 or 連続式
(2) 排気専用 or 封着排気一貫処理
(3) 基板垂直置き or 基板水平置き
中外炉工業では、封着・排気プロセスの多様なニーズに応えるため、開発用から本格量産用まで、最適なシステムを提供しています。