基板・フィルム塗工乾燥装置

FPD用熱処理設備

竪型クリーン焼成炉


従来炉とは全く異なる革新的な概念の装置で、基板の大型化に伴なうメンテナンス性や基板面内温度均一性の向上、炉長のさらなる短縮などを目的とした、省エネ、省スペースおよび効率的な脱媒処理を実現する画期的なクリーン焼成炉です。各種FPD用のみならず、様々な電子部品分野向けにも開発用から本格量産用まで、多様なニーズに最適なシステムを提供します。
当社研究所にて基礎性能確認テスト実施中で、サンプルテストのご要望もお受けしています。

■基本コンセプト

  1. 省スペース:炉長の大幅な短縮
  2. 省エネルギー:ガス燃焼間接加熱方式の採用など
  3. 省ランニングコスト:セッターレスシステムの採用など
  4. 高品質:基板面内温度均一性の向上
  5. 高クリーン雰囲気:炉内クリーン構造の新規開発
  6. メンテナンス性向上:シンプルな構造の実現

■基本コンセプトを実現する新技術

  1. 処理材料を竪積みとする
  2. 加熱源にガス燃焼間接加熱方式を採用
  3. タクトタイム短縮を実現する独自の加熱・冷却システム採用
  4. 炉本体をガスタイト構造とする

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関連受託テストのご紹介

受託テーマ 「各種FPDのクリーン焼成テスト」

テスト装置名
次世代クリーン焼成炉
テスト装置の設置場所
当社技術研究所(大阪府堺市)

装置概要

  • 従来のFPD用焼成炉とは全く異なる革新的な概念の装置で、基板の大型化に伴うメンテナンス性や基板面内温度均一性の向上、炉長のさらなる短縮などを目的とした、省エネ、省スペースおよび効率的な脱媒処理を実現するクリーン焼成炉です。
    各種FPD用のみならず、さまざまな電子部品のクリーン焼成やアニーリングなどが行えます。

主な用途

  • ●各種FPDのクリーン焼成 ●各種FPDガラス基板のアニーリング
    ●その他大型ガラス基板のクリーン焼成、アニーリング
    ●各種電子部品のクリーン焼成 など

装置仕様

  • ●最大基板サイズ:60インチ ●最高使用温度:600℃

▼テスト概要の説明項目(テストお申し込みの際、これらの項目をご参考に、概要説明願います。)

・基板サイズ ・ヒートプロファイル

受託テストのお申し込み・お問い合わせ

  • テストは基本的に有償です。(テスト詳細が確定後、お見積書を提出いたします。)
  • テストを希望される方は、下記の「受託テストのお申し込み」ボタンをクリックし、「お申し込みフォーム」に必要事項を入力のうえ、送信してください。
  • ご依頼内容によっては、お断りする場合もあります。
  • テスト装置の使用状況により、長期間お待ちいただかなければならない場合があります。

※ 中外炉工業では、設備導入のご商談を頂いているお客様のためのテスト装置を準備しています。賃加工や単独テストなどはお引き受けしておりませんので、ご了承願います。

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