FPD用熱処理設備
竪型クリーン焼成炉
従来炉とは全く異なる革新的な概念の装置で、基板の大型化に伴なうメンテナンス性や基板面内温度均一性の向上、炉長のさらなる短縮などを目的とした、省エネ、省スペースおよび効率的な脱媒処理を実現する画期的なクリーン焼成炉です。各種ＦＰＤ用のみならず、様々な電子部品分野向けにも開発用から本格量産用まで、多様なニーズに最適なシステムを提供します。
当社研究所にて基礎性能確認テスト実施中で、サンプルテストのご要望もお受けしています。
■基本コンセプト
- 省スペース：炉長の大幅な短縮
- 省エネルギー：ガス燃焼間接加熱方式の採用など
- 省ランニングコスト：セッターレスシステムの採用など
- 高品質：基板面内温度均一性の向上
- 高クリーン雰囲気：炉内クリーン構造の新規開発
- メンテナンス性向上：シンプルな構造の実現
■基本コンセプトを実現する新技術
- 処理材料を竪積みとする
- 加熱源にガス燃焼間接加熱方式を採用
- タクトタイム短縮を実現する独自の加熱・冷却システム採用
- 炉本体をガスタイト構造とする
