基板・フィルム塗工乾燥装置

精密塗工・乾燥装置

FLOLIA®


テーブルコータ®より更なる薄膜塗工が可能。ガラス、その他シート基板へのより薄く、より正確なコーティングを実現しました。
画期的なノズル洗浄と独自の制御方式により、サブミクロン単位の高精度な薄膜塗工が可能です。
また、基板搬送機構と位置決め機構により、自動化にも対応できます。
当社研究所のクラス100クリーンルーム内に、塗工性能確認のためのテスト装置を設置しています。

■特長・仕様

  1. 豊富な実績に基づくスロットダイコータを使用
  2. 今まで難しいとされてきた、サブミクロンの塗工が可能(0.02~200μm/Dry)
  3. 大型サイズのプレートまたはシートの塗工も可能(MAX.2600mm幅)
  4. 低粘度から高粘度まで幅広い粘度範囲に対応可能(0.001~10Pa・s)
  5. 塗工液のロスを極限まで抑えた給液システムと塗工方式
  6. 閉回路塗工のため、塗工液の特性変化が無い
  7. 塗工速度:5~200mm/sec
  8. 塗工精度:±3%以内

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関連受託テストのご紹介

受託テーマ 「シート基材への精密塗工テスト[1]」


テスト装置名
FLOLIA®コータシステム
テスト装置の設置場所
当社堺事業所(大阪府堺市)

装置概要

  • 実績豊富なFLOLIA® を中心とした塗工乾燥システムです。
    量産設備と同等の環境下で、基板洗浄~焼成~膜欠陥検査まで対応可能なシステム設備です。
    システム内の基板搬送はロボットにより完全自動化しています。

主な用途

  • ●フレキシブルディスプレー用PI膜 ●フォトレジスト ●各種FPD用回路形成膜 ●光学膜 ●太陽電池関連 ●隔壁・誘電体 ●保護膜 ●CNT、Pedot等 透明導電膜 ●バリア膜 など

装置仕様

  • ●最大基板寸法:400mmW×500mmL
    ●塗工膜厚:WET 1μm以上(Dry 100nm〜1,000μm)
    ●塗工液粘度:0.001~100Pa・s(1~100,000cps)
    ●塗工速度:≦200mm/sec
    ●設置環境:class10

システムプロセス

  • ●塗工前基板洗浄装置:E-UV、WET洗浄
    ●コータ:SLIT COATER
    ●減圧乾燥装置:HOT対応可能
    ●ホットプレート
    ●クリーンオーブン:N2雰囲気対応、Max.500℃
    ●膜欠陥検査装置
    ●OFF-LINE膜厚測定装置:光学式

受託テーマ 「シート基材への精密塗工テスト[2]」

テスト装置名
FLOLIA®3000コータシステム
テスト装置の設置場所
当社堺事業所(大阪府堺市)

装置概要

  • G6サイズの塗工・乾燥装置です。
    スロットダイ方式による精密塗工装置FLOLIA®に各種乾燥機能を付加しています。

主な用途

  • ●フレキシブルディスプレー用PI膜 ●フォトレジスト ●各種FPD用回路形成膜 ●光学膜 ●太陽電池関連 ●隔壁・誘電体 ●保護膜 ●NT、Pedot等 透明導電膜 ●バリア膜 など

装置仕様

  • ●最大基板寸法:1,850mmW×1,500mmL
    ●塗工膜厚:WET 1μm以上(Dry 100nm〜1,000μm)
    ●塗工液粘度:0.001~100Pa・s(1~100,000cps)
    ●塗工速度:≦200mm/sec

システムプロセス

  • ●コータ:SLIT COATER
    ●減圧乾燥装置:HOT対応可能
    ●ホットプレート
    ●膜厚測定:コータ附帯機能

受託テストのお申し込み・お問い合わせ

  • テストは基本的に有償です。(テスト詳細が確定後、お見積書を提出いたします。)
  • テストを希望される方は、下記の「受託テストのお申し込み」ボタンをクリックし、「テストお申し込み専用フォーム」に必要事項を入力のうえ、送信してください。
  • ご依頼内容によっては、お断りする場合もあります。
  • テスト装置の使用状況により、長期間お待ちいただかなければならない場合があります。

※ 中外炉工業では、設備導入のご商談を頂いているお客様のためのテスト装置を準備しています。賃加工や単独テストなどはお引き受けしておりませんので、ご了承願います。

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