基板・フィルム塗工乾燥装置

精密塗工・乾燥装置

FLOLIA3000コータシステム

テーブルコータ®シリーズの頂点に立つ”FLOLIA3000”を核にした、最新鋭の超高精度塗工・乾燥システムです。
液晶、有機EL、FEDなどのフラットパネルに、非接触でのサブミクロンコーティングを実現します。

■特長・仕様

  1. 塗工サイズ:G1~G9各種(コータ単体ではMax.2600mm幅)
  2. 塗工速度:≦200mm/sec
  3. 塗工液粘度:0.001~0.05Pa・s
  4. 塗工膜厚:0.02μm/Dry以上
  5. 塗工精度:≦±3%

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関連受託テストのご紹介

受託テーマ 「シート基材への精密塗工テスト[1]」


テスト装置名
FLOLIA®コータシステム
テスト装置の設置場所
当社堺事業所(大阪府堺市)

装置概要

  • 実績豊富なFLOLIA® を中心とした塗工乾燥システムです。
    量産設備と同等の環境下で、基板洗浄~焼成~膜欠陥検査まで対応可能なシステム設備です。
    システム内の基板搬送はロボットにより完全自動化しています。

主な用途

  • ●フレキシブルディスプレー用PI膜 ●フォトレジスト ●各種FPD用回路形成膜 ●光学膜 ●太陽電池関連 ●隔壁・誘電体 ●保護膜 ●CNT、Pedot等 透明導電膜 ●バリア膜 など

装置仕様

  • ●最大基板寸法:400mmW×500mmL
    ●塗工膜厚:WET 1μm以上(Dry 100nm〜1,000μm)
    ●塗工液粘度:0.001~100Pa・s(1~100,000cps)
    ●塗工速度:≦200mm/sec
    ●設置環境:class10

システムプロセス

  • ●塗工前基板洗浄装置:E-UV、WET洗浄
    ●コータ:SLIT COATER
    ●減圧乾燥装置:HOT対応可能
    ●ホットプレート
    ●クリーンオーブン:N2雰囲気対応、Max.500℃
    ●膜欠陥検査装置
    ●OFF-LINE膜厚測定装置:光学式

受託テーマ 「シート基材への精密塗工テスト[2]」

テスト装置名
FLOLIA®3000コータシステム
テスト装置の設置場所
当社堺事業所(大阪府堺市)

装置概要

  • G6サイズの塗工・乾燥装置です。
    スロットダイ方式による精密塗工装置FLOLIA®に各種乾燥機能を付加しています。

主な用途

  • ●フレキシブルディスプレー用PI膜 ●フォトレジスト ●各種FPD用回路形成膜 ●光学膜 ●太陽電池関連 ●隔壁・誘電体 ●保護膜 ●NT、Pedot等 透明導電膜 ●バリア膜 など

装置仕様

  • ●最大基板寸法:1,850mmW×1,500mmL
    ●塗工膜厚:WET 1μm以上(Dry 100nm〜1,000μm)
    ●塗工液粘度:0.001~100Pa・s(1~100,000cps)
    ●塗工速度:≦200mm/sec

システムプロセス

  • ●コータ:SLIT COATER
    ●減圧乾燥装置:HOT対応可能
    ●ホットプレート
    ●膜厚測定:コータ附帯機能

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  • テストは基本的に有償です。(テスト詳細が確定後、お見積書を提出いたします。)
  • テストを希望される方は、下記の「受託テストのお申し込み」ボタンをクリックし、「テストお申し込み専用フォーム」に必要事項を入力のうえ、送信してください。
  • ご依頼内容によっては、お断りする場合もあります。
  • テスト装置の使用状況により、長期間お待ちいただかなければならない場合があります。

※ 中外炉工業では、設備導入のご商談を頂いているお客様のためのテスト装置を準備しています。賃加工や単独テストなどはお引き受けしておりませんので、ご了承願います。

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